概要
軟性顯示器之濕制程設備，是將光學級的軟性透明導電層經過連續式的光阻涂布、曝光、顯影、蝕刻制程完成所需要的透明電極 。
Rise-tech持續開發Roll to Roll軟性顯示器濕制程設備，并在制程設備系統加入許多自有Know How。為了測試不同蝕刻液對軟性透明導電基板的蝕刻特性，如草酸、王水、鹽酸、硫酸系統，必須更換槽體、管路的材質，現已掌握并精度應用各種蝕刻液對濃度、溫度、時間的蝕刻參數數據庫。
連續式導電層圖案化制程技術
制程目標與說明：
卷對卷面板顯示行業設備
卷對卷清洗機 Roll to Roll Cleaner
清洗方式與機構:放板進料→入料→脫脂→加壓水洗*3→BJ洗凈→純水洗→吹干/烘干→出料→收板出料
具除靜電模塊
卷對卷老化爐 Roll to Roll Aging
卷對卷涂布機＋烘烤 Roll to Roll Coater&Baker
涂布膜厚范圍: 5μm～10μm
具干燥模塊
膜厚均勻性 ±5%
具除靜電模塊
卷對卷顯影蝕刻剝膜機 ITO Film DES Line
顯影槽
蝕刻槽 (可使用混酸系統)
具水洗槽及風刀模塊
具除靜電模塊
顯影藥液段噴盤擺動設計: 增加藥液反應均勻性穩定度
藥液槽洗槽設計:自動洗槽設計,確保Maintain時人員操作安全
Tank間接加熱設計: 有效控制溫度精準度
藥液段液位設計: 達成計時計片添加需求
Cone Type 噴嘴設計: 強調顯影均勻性
磁性環傳動: 防止Particle產生
滾輪設計: UPE Roller(三件式) 增加傳動穩定度以及防止輪以及刮傷產生
